亞皮秒紫外波長(cháng)短，脈寬窄，材料吸收紫外光比吸收紅外光更容易，紫外光子直接打斷PVD鍍膜材料表面的分子鍵，這種方式不會(huì )產(chǎn)生高的熱量，俗稱(chēng)“冷加工”，主要采用紫外激光(波長(cháng)355nm)，加工出來(lái)的部件具有光滑的邊緣和不傷玻璃基材等優(yōu)點(diǎn)。紫外亞皮秒PVD清除機非常成熟，直接利用激光器出光后通過(guò)擴束調整后連接到振鏡的光學(xué)系統，通過(guò)激光光束照射到工件表面，氣化掉表面PVD鍍膜。

光清洗系統針對PVD工具清洗，可以有效清除多層涂層，不會(huì )產(chǎn)生機械損傷，對焊縫或密封表面無(wú)損傷，減少加熱循環(huán)時(shí)間，綠色環(huán)保無(wú)需介質(zhì)、化學(xué)試劑，不產(chǎn)生次級污染物，無(wú)需清理，一般反應室清洗在短短幾個(gè)小時(shí)內即可完成。

激光清洗技術(shù)甚至可以清除最難清洗的氣相沉淀層，包括類(lèi)似金剛石碳涂層和其他耐磨涂層。捆綁式激光的威力能夠將這些“防彈涂層”蒸發(fā)汽化。最終，精密金屬基材能夠被安全且無(wú)損地清除干凈，且不產(chǎn)生殘渣。等離子體室內可以手動(dòng)或半自動(dòng)地進(jìn)行有效的激光去涂層同時(shí)清理干凈。

PVD物理氣相沉積指利用物理過(guò)程實(shí)現物質(zhì)轉移，將原子或分子由源轉移到基材表面上的過(guò)程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。 然而在這個(gè)過(guò)程中，噴的漆層不僅粘附到目標表面，還要與周?chē)ㄓ糜谠诜磻覂劝殉至慵墓ぞ吆蛫A具的表面整合起來(lái)。激光清洗系統可以高效的清潔PVD工具表面，避免過(guò)量的PVD噴涂材料會(huì )帶來(lái)不良影響，如降低工件公差，反應室密封性差，導致濕度上升、加熱時(shí)間延長(cháng)。